Otomatik kontwòl tanperati ak imidite
Tanperati a ak imidite nan chanm pwòp la detèmine sitou dapre kondisyon yo ki nan pwosesis, men anba kondisyon an ke kondisyon yo ki nan pwosesis yo satisfè, konfò imen an ta dwe pran an konsiderasyon.Avèk ogmantasyon nan kondisyon pwòpte lè a, gen yon tandans ke pwosesis la gen pi plis ak pi sevè kondisyon sou tanperati ak imidite.
Kòm presizyon nan machin ap vin pi rafine ak pi rafine, kondisyon yo pou ranje fluctuation tanperati a ap vin pi piti ak pi piti.Pou egzanp, nan pwosesis ekspoze litografi nan pwodiksyon sikwi entegre gwo-echèl, diferans ki genyen ant koyefisyan ekspansyon tèmik nan glas ak Silisyòm wafer kòm materyèl la nan dyafram nan oblije pi piti ak pi piti.Yon wafer Silisyòm ak yon dyamèt 100μm pral lakòz yon ekspansyon lineyè 0.24μm lè tanperati a monte pa 1 degre.Se poutèt sa, li dwe gen yon tanperati konstan nan ± 0.1 degre.An menm tan an, valè imidite a jeneralman oblije ba, paske apre yon moun swe, pwodwi a pral polye, espesyalman Pou atelye semi-conducteurs ki pè sodyòm, sa a kalite atelye pwòp pa ta dwe depase 25 degre.
Twòp imidite lakòz plis pwoblèm.Lè imidite relatif la depase 55%, kondansasyon ap fèt sou miray tiyo dlo refwadisman an.Si li rive nan yon aparèy presizyon oswa sikwi, li pral lakòz aksidan divès kalite.Li fasil pou rouye lè imidite relatif la se 50%.Anplis de sa, lè imidite a twò wo, pousyè tè a sou sifas wafer Silisyòm lan pral chimikman adsorbed pa molekil dlo yo nan lè a nan sifas la, ki se difisil yo retire.Plis imidite relatif la pi wo a, pi difisil li se retire adezyon an, men lè imidite relatif la pi ba pase 30%, patikil yo tou fasil adsorbed sou sifas la akòz aksyon an nan fòs elektwostatik, ak yon gwo kantite semi-conducteurs. aparèy yo gen tandans fè pann.Ranje tanperati ki pi bon pou pwodiksyon wafer Silisyòm se 35 ~ 45%.
